Bei der Halbleiterfertigung können selbst extrem kleine Partikel, Gele, Metallionen oder organische Verunreinigungen die Waferausbeute und die Prozessstabilität beeinträchtigen. Daher ist die Filtration nicht nur ein einfacher Trennprozess, sondern auch ein wichtiger Bestandteil der Kontaminationskontrolle in hochreinen Produktionsumgebungen.
![]()
Pullner bietet Halbleiterfilterpatronen für anspruchsvolle Anwendungen wie Nassprozesschemikalien, Fotolacke, Entwickler, Lösungsmittel, CMP-Aufschlämmung, Reinstwasser und hochreine Gasfiltration. Diese Filter helfen Kunden, die Prozesssauberkeit zu verbessern, nachgeschaltete Geräte zu schützen und eine stabile Produktionsleistung aufrechtzuerhalten.
Eine typische Halbleiterfilterpatrone besteht aus mehreren Schlüsselteilen, darunter:
Die Membran ist die wichtigste Filterschicht und für die Entfernung von Partikeln und Verunreinigungen aus Flüssigkeiten oder Gasen verantwortlich. Zu den gängigen Membranmaterialien gehören:
jeweils für unterschiedliche chemische Bedingungen geeignet. Beispielsweise werden PTFE und PFA häufig für aggressive Chemikalien und Lösungsmittel verwendet, während UPE aufgrund seines geringen Anteils an extrahierbaren Stoffen und seiner hervorragenden Reinheit häufig in der hochreinen chemischen Filtration eingesetzt wird.
Die Stütz- und Drainageschichten tragen dazu bei, einen stabilen Durchfluss aufrechtzuerhalten und den Druckabfall während des Betriebs zu reduzieren. Der innere Kern und der äußere Käfig sorgen für mechanische Festigkeit, sodass die Filterpatrone unter bestimmten Druck- und Durchflussbedingungen zuverlässig arbeiten kann. Die Endkappen und das Dichtungsdesign gewährleisten eine ordnungsgemäße Installation und helfen, Bypass-Leckagen zu verhindern, was besonders bei hochreinen Halbleiterprozessen wichtig ist.
Zu den Hauptfiltrationszielen von Halbleiterfilterpatronen gehören:
Bei Nassprozessen und der elektronischen chemischen Filtration werden Filter verwendet, um feine Partikel zu entfernen, die Defekte auf Waferoberflächen verursachen können. In Reinstwassersystemen tragen Filter dazu bei, die Wasserreinheit aufrechtzuerhalten und empfindliche Prozessanlagen zu schützen. Bei der Gasfiltration werden hocheffiziente Filter eingesetzt, um luftgetragene Partikel zu kontrollieren und die Lieferung sauberer Gase sicherzustellen.
![]()
Im Vergleich zu herkömmlichen Industriefiltern erfordern Filter in Halbleiterqualität eine höhere Sauberkeit, eine bessere chemische Kompatibilität, ein geringeres Kontaminationsrisiko und eine stabilere Chargenkonsistenz. Pullner konzentriert sich auf Materialauswahl, Strukturdesign, saubere Produktion und Qualitätskontrolle, um zuverlässige Filtrationslösungen für hochreine Anwendungen bereitzustellen.
Für Kunden, die nach Alternativen zu internationalen Filtermarken suchen, kann Pullner die Auswahl auf der Grundlage von Teilenummern, technischen Zeichnungen, Mustern oder tatsächlichen Arbeitsbedingungen unterstützen. Nach der Qualifizierung können wir Sie bei der Dimensionsbestätigung, Materialabstimmung, Musterprüfung und Massenlieferung unterstützen.
Unabhängig davon, ob es sich bei Ihrer Anwendung um hochreine chemische Filtration, Reinstwasseraufbereitung, CMP-Schlammfiltration oder Gasfiltration handelt, ist Pullner bereit, professionelle, kostengünstige und maßgeschneiderte Halbleiterfiltrationslösungen anzubieten.
Weitere Informationen zu Pullner-Halbleiterfilterpatronen finden Sie unterwww.pullnerfilter.comoder kontaktieren Sie uns für technischen Support und Produktauswahl.
Ansprechpartner: Miss. Lucy
Telefon: 86-21-57718597
Faxen: 86-021-57711314